Photolithography, Fachbücher

Das Buch "Photolithography" von Betascript Publishing bietet eine umfassende Einführung in den Prozess der optischen Lithografie, der in der Mikroproduktion weit verbreitet ist. Es beschreibt, wie Licht verwendet wird, um geometrische Muster von einer Fotomaske auf einen lichtempfindlichen chemischen Fotolack zu übertragen. Dieser Prozess ist entscheidend für die Herstellung komplexer integrierter Schaltungen, wie sie in modernen CMOS-Technologien zu finden sind. Das Buch behandelt die verschiedenen Schritte des Lithografieprozesses, einschliesslich der chemischen Behandlungen, die erforderlich sind, um das Belichtungsmuster in das Material unter dem Fotolack zu ätzen. Es richtet sich an Fachleute und Studierende, die ein tieferes Verständnis für die Techniken und Anwendungen der Photolithografie in der Mikroelektronik gewinnen möchten.