Epitaxy, Fachbücher

Das Buch "Epitaxy" von Alphascript Publishing bietet eine umfassende Einführung in die Methode der Epitaxie, die das Abscheiden von monokristallinen Filmen auf monokristallinen Substraten beschreibt. Der Begriff Epitaxie leitet sich aus dem Griechischen ab und bedeutet, eine geordnete Anordnung auf einer Oberfläche zu schaffen. In diesem Fachbuch werden die verschiedenen Aspekte der Epitaxie behandelt, einschliesslich der Unterschiede zwischen Homo- und Heteroepitaxie. Es wird erläutert, wie epitaxiale Filme aus gasförmigen oder flüssigen Vorläufern gezüchtet werden und wie die Struktur und Orientierung des Films der des Substrats entspricht. Das Buch richtet sich an Studierende und Fachleute, die ein vertieftes Verständnis dieser wichtigen Technologie in der Materialwissenschaft und Halbleitertechnik erlangen möchten.