Nitrogen Trifluoride, Fachbücher von Lambert M. Surhone, Miriam T. Timpledon, Susan F. Marseken
39,00 €
Das Buch "Nitrogen Trifluoride" bietet eine umfassende Einführung in das chemische Element NF3, ein farbloses, giftiges und geruchloses Gas, das in der Mikroelektronik zunehmend Verwendung findet. Es wird hauptsächlich als Ätzmittel in der Plasma-Ätzung von Siliziumwafern eingesetzt und spielt eine entscheidende Rolle bei der Reinigung von PECVD-Kammern in der Massenproduktion von Flüssigkristallanzeigen und siliziumbasierten Dünnschicht-Solarzellen. Das Buch beleuchtet die chemischen Eigenschaften von Stickstofftrifluorid sowie seine Anwendungen in der Industrie, insbesondere in Bezug auf die umweltfreundlichen Alternativen zu perfluorierten Kohlenwasserstoffen. Es wird auch auf die Herausforderungen eingegangen, die mit der Emission von NF3 und anderen chemischen Verbindungen in die Atmosphäre verbunden sind, und beschreibt moderne Systeme zur Gasreinigung, die zur Reduzierung dieser Emissionen beitragen können.
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