Growth and Characterization of ITO thin film by Magnetron Sputtering, Fachbücher von Öcal Tuna

Das Buch "Growth and Characterization of ITO thin film by Magnetron Sputtering" bietet eine umfassende Untersuchung der Wachstums- und Charakterisierungsprozesse von Indium-Zinn-Oxid (ITO) Dünnfilmen, die durch DC- und RF-Magnetronsputtern hergestellt wurden. Der Autor, Öcal Tuna, analysiert die Auswirkungen von Substrattemperatur, Filmdicke und Sputterverfahren auf die strukturellen, elektrischen und optischen Eigenschaften der Filme. Die Studie zeigt, dass die Substrattemperatur und die Filmdicke entscheidende Faktoren für die Kristallisation und den Widerstand der Filme sind. Bei Temperaturen unter 150 °C zeigen die Filme eine amorphe Struktur, während bei höheren Temperaturen eine Kristallisation auftritt. Die Ergebnisse umfassen auch die Berechnung des Bandabstands von ITO sowie die Messung der Temperaturabhängigkeit des Widerstands und des Hall-Koeffizienten, was zu wertvollen Erkenntnissen über die Trägerkonzentration und die Hall-Mobilität führt.