Boron nitride thin films, Fachbücher von Jean Lorenzzi
Das Buch "Boron Nitride Thin Films" von Jean Lorenzzi bietet eine umfassende Untersuchung der Eigenschaften und der Herstellu... Mehr erfahren
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Produktdetails
Das Buch "Boron Nitride Thin Films" von Jean Lorenzzi bietet eine umfassende Untersuchung der Eigenschaften und der Herstellung von Boronnitrid-Dünnfilmen. Die Arbeit konzentriert sich auf die Ablagerung dieser Filme durch D.C. und R.F. Magnetronsputtern von heissgepressten B4C- und h-BN-Zielen auf verschiedenen Substraten, darunter Si3N4-Keramiken und Si(100)-Wafer. Es werden verschiedene Parameter wie Substrattemperatur und das Verhältnis der Arbeitsgaszusammensetzung (N2 oder Ar) analysiert, um deren Einfluss auf die Filmdicke, die Abscheidungsrate, die Kristallinität, den Restspannungszustand, die Phasenkomposition und die Härte zu untersuchen. Die verwendeten Analysemethoden umfassen SEM, XRD, FT-IR und Nanohärteprüfungen, was zu einer fundierten und detaillierten Darstellung der Ergebnisse führt.
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