Self-Interstitial Diffusion And Clustering In Crystalline Si, Fachbücher von Salvo Mirabella

Das Buch "Self-Interstitial Diffusion And Clustering In Crystalline Si" von Salvo Mirabella bietet eine umfassende Untersuchung der diffusionsbezogenen Eigenschaften von Selbstinterstitialen in kristallinem Silizium. Es beleuchtet die Herausforderungen bei der Erkennung dieser Defekte und deren Rolle in verschiedenen physikalischen Phänomenen, insbesondere in Bezug auf die Diffusion von Dotierstoffen wie Bor und Kohlenstoff. Durch den Einsatz der Molekularstrahlepitaxie-Technik werden spezifische Si-Probenstrukturen mit gezielt eingebrachten Dotierstoffen hergestellt, um die Wechselwirkungen und die Diffusionseigenschaften eingehend zu analysieren. Diese Arbeit trägt zur Vertiefung des Verständnisses über native Punktdefekte in Silizium bei und bietet wertvolle Einblicke in die Materialwissenschaften, die für die Entwicklung moderner Halbleitertechnologien von Bedeutung sind.