Reactive Sputter Deposition, Fachbücher von Diederik Depla, Stijn Mahieu
320,99 €
Das Buch "Reactive Sputter Deposition" bietet eine umfassende Einführung in die Technik der Sputterabscheidung, die eine der gängigen Methoden der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) darstellt. Es behandelt die grundlegenden Prozesse, die bei der Abscheidung dünner Filme auf Materialien ablaufen, und beleuchtet die Bedeutung der Elektronenemission während der Ionenbombardierung. Die ersten Kapitel des Buches widmen sich detailliert dem Sputterprozess und dem Magnetronentladung, wobei die Wechselwirkungen zwischen Zielmaterial und Plasma eingehend analysiert werden. Durch die Kombination von theoretischen Grundlagen und praktischen Anwendungen ermöglicht das Buch den Leserinnen und Lesern, ein fundiertes Verständnis für die Mechanismen der Sputterabscheidung zu entwickeln. Die Inhalte sind sowohl für Fachleute als auch für Studierende geeignet, die sich mit der Materialbearbeitung und Oberflächenmodifikation beschäftigen.
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