Scanning Probe Lithography, Fachbücher von Calvin F. Quate, Hyongsok T. Soh, Kathryn Wilder Guarini

Das Buch "Scanning Probe Lithography" bietet eine umfassende Darstellung der neuesten Fortschritte im Bereich der Rastersondenlithographie (SPL), einer hochauflösenden Strukturierungstechnik. Diese Methode nutzt eine scharfe Spitze, die sich in unmittelbarer Nähe zu einer Probe befindet, um nanometerskalierte Strukturen auf der Probe zu erzeugen. SPL ermöglicht die Musterung von Merkmalen mit einer Grösse von weniger als 30 nm und bietet eine präzise Ausrichtung. Die Technik ist relativ einfach, kostengünstig und zuverlässig, was sie zu einer vielversprechenden Option für die Forschung im Nanometerbereich, die maskenlose Halbleiterlithographie und die Fotomaskenstrukturierung macht. Die Autoren, darunter Pioniere wie Calvin Quate, Hyongsok Tom Soh und Kathryn Wilder Guarini, haben bedeutende Fortschritte in der SPL erzielt, darunter die Verbesserung der Schreibgeschwindigkeit und die Entwicklung massgeschneiderter Mikrosysteme für die individuelle Steuerung.