Fundamentals of Nanoscale Film Analysis, Fachbücher von James W. Mayer, Terry L Alford, L.C. Feldman

Das Buch "Fundamentals of Nanoscale Film Analysis" bietet eine umfassende Einführung in die Analyse von nanoskaligen Filmen und deren Eigenschaften. Es richtet sich an Fachleute und Studierende in den Bereichen Materialwissenschaften und integrierte Schaltungen, die ein vertieftes Verständnis für die Struktur und Zusammensetzung von Materialien auf der Nanoskala erlangen möchten. Der Fokus liegt auf der Untersuchung der obersten Schichten von Materialien, die nur wenige Nanometer dick sind. Das Buch behandelt verschiedene Charakterisierungstechniken, die es ermöglichen, die Struktur, Zusammensetzung und Tiefenverteilung von Materialien mithilfe energiereicher Teilchen und Photonen zu quantifizieren. Die Autoren erläutern die grundlegenden Prinzipien der Materialcharakterisierung und die Wechselwirkungen, die bei der Analyse nanoskaliger Strukturen auftreten.