Surface Plasmon Resonance Based MEMS Displacement Sensors, Fachbücher von Hasan Güner

Das Buch "Surface Plasmon Resonance Based MEMS Displacement Sensors" von Hasan Güner bietet eine umfassende Untersuchung der Abhängigkeit der Oberflächenplasmonresonanz (SPR) von Kopplungsparametern und deren Anwendung in der Mikro- und Nanotechnologie. Es werden innovative Ansätze zur Gestaltung, Herstellung und Charakterisierung von MEMS-Displacement-Sensoren vorgestellt, die auf der Winkelabhängigkeit der grating-kopplten SPR-Bedingungen basieren. Das Buch beleuchtet verschiedene Mechanismen zur Anregung von Oberflächenplasmon-Polariton (SPP) und hebt insbesondere das grating-kopplte Verfahren hervor, das sich gut für Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) eignet. Durch den Einsatz fortschrittlicher lithografischer Techniken werden präzise definierte Grating-Strukturen hergestellt, die auf spezifische Wellenlängen und Einfallswinkel abgestimmt sind. Darüber hinaus werden neuartige Sensoren vorgestellt, die die Empfindlichkeiten der Plasmonresonanz und mikromembranbasierter Sensoren kombinieren, um eine herausragende Leistung zu erzielen.