Investigation Of AlN Films And Creating Devices Based On Them, Fachbücher von Rinat Khanbekov

Das Buch "Investigation Of AlN Films And Creating Devices Based On Them" von Rinat Khanbekov bietet eine umfassende Untersuchung der Eigenschaften und Anwendungen von Aluminium-Nitrid (AlN) Filmen. Angesichts des Fortschritts in der modernen Kommunikation, der eine Erhöhung der Betriebsfrequenzen von Geräten erfordert, wird die Notwendigkeit neuer Materialien deutlich. Aluminium-Nitrid zeichnet sich durch aussergewöhnliche Eigenschaften aus, die es zu einem vielversprechenden Material für verschiedene Anwendungen, insbesondere im Bereich der Akustoelektronik, machen. In dieser Arbeit werden die Prozesse zur Herstellung von AlN-Dünnfilmen mittels RF-Magnetronsputtern sowie die Möglichkeiten zur Anwendung dieser Filme in der Entwicklung von akustoelektronischen Geräten, die im Mikrowellen- und Hochfrequenzbereich arbeiten, untersucht.