An Optical Profilometer for Ultra High Vacuum Conditions, Fachbücher von Katrin Fladischer

Das Fachbuch "An Optical Profilometer for Ultra High Vacuum Conditions" von Katrin Fladischer bietet eine umfassende Analyse und detaillierte Beschreibung der Konstruktion und Implementierung eines optischen Profilometers, das speziell für die Anwendung unter ultra-hohen Vakuumbedingungen entwickelt wurde. In der heutigen Wissenschaft ist das präzise Messen von Oberflächenprofilen von entscheidender Bedeutung, insbesondere in Bereichen, in denen Reinheit und Genauigkeit unerlässlich sind. Dieses Buch adressiert die Herausforderungen, die mit der Messung komplexer Oberflächenprofile verbunden sind, und präsentiert innovative Lösungen, die durch die Verwendung eines optischen Sensors in einem Vakuum erreicht werden. Die vorgestellten Methoden sind besonders relevant für die Charakterisierung von elektrostatistisch deformierten Siliziumwafern, wobei ein einstellbares elektrisches Feld von bis zu 25 MV/m erforderlich ist. Die Notwendigkeit eines sauberen UHV-Umfelds wird ebenfalls hervorgehoben, um elektrische Durchbrüche zu vermeiden. Das Buch richtet sich an Wissenschaftler, Ingenieure und alle, die sich für präzise Messmethoden interessieren.