Chemical Vapour Deposition of Main Group Metal Oxides and Phosphides, Fachbücher von Russell Binions

Das Buch "Chemical Vapour Deposition of Main Group Metal Oxides and Phosphides" bietet eine umfassende Einführung in den Prozess der chemischen Dampfabscheidung (CVD), der in verschiedenen Industrien zur Herstellung von Dünnschichten funktioneller Materialien eingesetzt wird. Besonders relevant ist dieser Prozess in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie, wo er eine Schlüsselrolle spielt. Darüber hinaus gewinnt die chemische Dampfabscheidung auch in der Glasindustrie und bei der Entdeckung neuer Materialien zunehmend an Bedeutung. Das Werk behandelt die Einrichtung und den Ablauf der chemischen Dampfabscheidung, die Abscheidung und Charakterisierung von Metallphosphiden und Oxidverbindungen der Hauptgruppe sowie die Anwendung von Metalloxid-Dünnschichten in Festkörper-Gassensoren. Es bietet zudem Einblicke in innovative CVD-Techniken und richtet sich an Fachleute aus Industrie und Wissenschaft, die sich mit Dünnschichttechnologien beschäftigen und an der Entwicklung neuer Verfahren interessiert sind.