Precision Control of Planar Motion Stages, Fachbücher von Wei Gao, Songyi Dian

Das Buch "Precision Control of Planar Motion Stages" bietet eine umfassende Analyse und innovative Ansätze zur präzisen Steuerung von planar bewegten Stufen, die durch Planarmotoren angetrieben werden. Diese Stufen ermöglichen XY-Bewegungen in der Ebene und zeichnen sich durch Vorteile wie Direktantrieb, hohe Geschwindigkeit, kontaktlose Levitation und eine einfache Struktur aus. Allerdings sind sie anfällig für Störungen zwischen den Achsen und Modellunsicherheiten, da es im XY-Bereich keine mechanischen Einschränkungen gibt. Das Werk behandelt die Herausforderungen, die mit der Steuerung dieser Systeme verbunden sind, und präsentiert fortschrittliche Strategien zur dynamischen Modellierung, entkoppelten Steuerung und Kompensation auf Basis von gleitenden Modellen. Es richtet sich an Fachleute und Studierende in den Bereichen Mathematik und Naturwissenschaften, die sich mit ultrapräzisen Positionierungsanwendungen beschäftigen.