Reverse Graded Buffers for CMOS Technologies, Fachbücher von Vishal A. Shah

Das Buch "Reverse Graded Buffers for CMOS Technologies" von Vishal A. Shah bietet eine umfassende Analyse der Herausforderungen und Lösungen im Bereich der Halbleitertechnologie, insbesondere im Hinblick auf die Verwendung von SiGe-Pufferschichten in CMOS-Anwendungen. Angesichts der Grenzen, die durch die traditionelle Skalierung von MOSFETs entstehen, wird die Notwendigkeit betont, alternative Materialien zu integrieren, um die Leistung zu steigern. Das Werk untersucht die Eigenschaften von Si1-xGex-Legierungen mit hohem Ge-Gehalt als Pufferschicht und vergleicht diese mit gängigen Pufferschicht-Herstellungstechniken. Es behandelt alle Aspekte von der epitaxialen Wachstumsphase bis hin zur strukturellen Charakterisierung und bietet wertvolle Einblicke für Fachleute in der Halbleiterindustrie, die ein besseres Verständnis für strukturelle Analysen in diesem Forschungsbereich erlangen möchten.