Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology, Fachbücher von Andreas Hierlemann

Das Buch 'Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology' bietet eine umfassende Behandlung des interdisziplinären Bereichs der CMOS-chemischen Mikrosensorsysteme. Es richtet sich an Studierende, Wissenschaftler und Ingenieure, die eine Einführung in die chemische Sensorik suchen, da alle notwendigen grundlegenden Kenntnisse vermittelt werden. Gleichzeitig enthält es detaillierte Informationen zu allen wichtigen Aspekten der Realisierung chemischer Mikrosensoren in der CMOS-Technologie, was es auch für Fachleute von Interesse macht, die bereits mit dem Thema vertraut sind. Nach einer kurzen Einführung werden die Grundlagen der chemischen Sensorik behandelt, gefolgt von den gängigen Fertigungs- und Verarbeitungsprozessen der Halbleiterindustrie. Das Buch bietet zudem einen umfassenden Überblick über die Transducerstrukturen, die auf Halbleiter- und CMOS-Technologie basieren, und beschreibt die Entwicklung monolithischer Multisensorarrays sowie voll entwickelter Mikrosysteme mit integrierter Sensorsteuerung und Standard-Schnittstellen. Ein Abschnitt über die Verpackung zeigt, wie Techniken der Halbleiterindustrie auf die Verpackung chemischer Mikrosensoren angewendet werden können.