Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique, Fachbücher von Joachim Frühauf
Das Fachbuch "Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique" bietet eine umfassende Übersicht über die for... Mehr erfahren
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Produktdetails
Das Fachbuch "Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique" bietet eine umfassende Übersicht über die formbezogenen und funktionalen Elemente der Bulk-Silizium-Mikrotechnik. Es enthält eine systematische Beschreibung einfacher Formelemente sowie Elemente für mechanische, fluidische und optische Anwendungen. Das Handbuch bietet praktische Anleitungen zur Anwendung der relevanten Techniken und enthält eine umfangreiche Sammlung von Beispielen, die durch Fotografien, Zeichnungen und Referenzen unterstützt werden. Es dient als wertvoller Leitfaden für die Gestaltung von Ätzmasken und -prozessen und fasst die wichtigen Eigenschaften von Silizium zusammen. Das Buch richtet sich insbesondere an Hersteller von Sensoren und mikrotechnischen Komponenten sowie an Produzenten von Präzisionsengineering- und optischen Anwendungen.
Informationen
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Marke:Springer