Gettering Defects in Semiconductors, Fachbücher von Vladimir D. Skoupov, Victor A. Perevostchikov

"Gettering Defects in Semiconductors" ist ein Fachbuch, das sich mit der systematischen Untersuchung von Gettering-Techniken in der Mikro- und Nanoelektronik befasst. Es zielt darauf ab, bestehende Erfahrungen und Forschungsergebnisse zu bündeln und neue Forschungsrichtungen zu identifizieren, um Fachleuten sowie jungen Forschenden und Spezialisten neue Perspektiven zu eröffnen. Das Buch schliesst eine Lücke in der aktuellen Literatur zur Theorie der Halbleitermaterialien und behandelt sowohl etablierte als auch moderne Trends in der Gettering-Technologie aus einer internationalen Perspektive. Die Autoren erläutern die Arten und Eigenschaften struktureller Defekte in Halbleitern sowie deren Entstehungs- und Transformationsmechanismen während der Herstellung. Ein besonderer Fokus liegt auf der Klassifizierung und Beschreibung spezifischer Gettering-Techniken, die sich aus ihrer Position im technologischen Prozess und den Anwendungsregimen ableiten. Das Buch richtet sich an Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich für die Theorie von Halbleitermaterialien interessieren, sowie an Studierende der Mikro- und Nanoelektronik.