Neutron irradiation on silicon, Fachbücher von Tahir Nazir

Das Fachbuch "Neutron Irradiation on Silicon" von Tahir Nazir bietet eine umfassende Untersuchung der Phosphorproduktion nach Neutronenbestrahlung auf intrinsischen Siliziumproben. Die Studie analysiert die Auswirkungen der Neutronenbestrahlung und die anschliessende Wärmebehandlung bei 800 °C, um Defekte in den bestrahlten Proben zu beseitigen. Durch die Anwendung von Ätzverfahren mit einer Mischung aus Flusssäure und deionisiertem Wasser wird die Oxidschicht von der Oberfläche entfernt. Die Charakterisierung der Proben erfolgt durch Messungen des elektrischen Widerstands, der Reflexion und der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS). Die Ergebnisse zeigen, dass die elektrische Leitfähigkeit der bestrahlten Proben im Vergleich zu unbestrahlten Proben erhöht ist, was auf eine N-Typ-Dotierung hinweist. Zudem wird festgestellt, dass die Phosphorkonzentration mit der Intensität der Neutronenbestrahlung zunimmt. Dieses Buch ist eine wertvolle Ressource für Fachleute und Studierende, die sich mit der Materialwissenschaft und der Halbleiterphysik beschäftigen.