Internal Stress of Thin Film, Fachbücher von Tamjid Chowdhury

Das Fachbuch "Internal Stress of Thin Film" von Tamjid Chowdhury bietet eine umfassende Analyse der internen Spannungen in Dünnschichten, die für die Zuverlässigkeit und Lebensdauer elektronischer Geräte von entscheidender Bedeutung sind. Stress ist ein wesentlicher Faktor, der zu über 60 % der Ablehnungen elektronischer Geräte führt, und dieses Buch beleuchtet die Rolle von Stress in elektrochemisch abgeschiedenen Filmen. Es werden theoretische Formulierungen und Modelle des internen Stresses kritisch untersucht, und die Zusammenhänge zwischen internen Spannungen und Abscheideparametern werden detailliert dargestellt. Ein besonderer Fokus liegt auf der Echtzeitüberwachung von Spannungsänderungen in elektrochemisch abgeschiedenen Kupferfilmen während der Abscheidung und der Alterung bei Raumtemperatur. Zudem werden verschiedene Messmethoden für die in-situ und Echtzeitmessung von Spannungen in abgeschiedenen Filmen erörtert.