Amorphous Silicon Carbide for MEMS Applications, Fachbücher von Arnab Choudhury

Das Buch "Amorphous Silicon Carbide for MEMS Applications" von Arnab Choudhury bietet eine umfassende Untersuchung der Herstellungstechniken für amorphes Siliziumcarbid (a-SiC) in der Mikrosystemtechnik (MEMS). Es behandelt die mechanischen und chemischen Charakterisierungsstudien, die die vielseitige Anwendbarkeit von a-SiC in verschiedenen MEMS-Anwendungen belegen. Besonders hervorgehoben werden die hohen Werte des Young-Moduls und die chemische Beständigkeit gegenüber gängigen MEMS-Ätzmitteln, die a-SiC zu einem vielversprechenden Material für die MEMS-Fertigung machen. Darüber hinaus werden Techniken zur Strukturierung von a-SiC sowie die Integration von a-SiC-basierten MEMS-Geräten mit Stereolithografie behandelt. Das Buch beschreibt auch eine Methode zur präzisen Ausrichtung stereolithografischer Strukturen in MEMS-Geräten. Ein praktisches Beispiel zur Veranschaulichung der Anwendbarkeit von a-SiC ist ein mikroskalierter Vier-Punkt-Probe-Test.