Analysis Of Excimer Laser Machining Of Micropatterns, Fachbücher von Hong Hocheng, K. Y. Wang

Das Buch "Analysis Of Excimer Laser Machining Of Micropatterns" bietet eine umfassende Untersuchung des Laserbearbeitungsprozesses zur Herstellung von Mikromustern auf Polycarbonat. Es analysiert die Ablation von Rillenmustern und komplexeren 3D-Features mithilfe von Maskenöffnungen. Ein mathematisches Modell wird entwickelt, um die Beziehung zwischen den Laserbearbeitungsparametern und dem resultierenden Profil zu beschreiben. Die experimentellen Ergebnisse und numerischen Simulationen werden sowohl für Einzel- als auch für Kreuzdragging mit elliptischen, dreieckigen und rechteckigen Masken präsentiert. Die Studie zeigt, dass die Abweichung zwischen Experiment und Simulation weniger als 14 % beträgt, was die Validität des Modells unterstreicht. Darüber hinaus wird die Herstellung von Miniaturlampenlinsen durch Variation der Laserparameter und Maskenformen erörtert, wobei die Vorteile der Mikrolinsen hinsichtlich der Lichteffizienz hervorgehoben werden. Die Ergebnisse deuten darauf hin, dass optische Systeme mit Mikrolinsen eine bessere Leistung bieten als solche mit Makrolinsen.