Design aspects of rotating cylindrical magnetron cathode, Fachbücher von A. Subrahmanyam, Krishna Valleti

Das Buch "Design Aspects of Rotating Cylindrical Magnetron Cathode" bietet eine umfassende Analyse der Konstruktionsmerkmale von zylindrischen Magnetron-Kathoden, die für die Beschichtung innerer und äusserer Oberflächen von planaren oder tubularen Objekten verwendet werden. Es beleuchtet die Herausforderungen, die mit der gleichmässigen Beschichtung dünner Filme auf den inneren Oberflächen von Rohren verbunden sind, und untersucht verschiedene Techniken, die gegenwärtig für grossflächige Beschichtungen eingesetzt werden. Der Autor diskutiert die bestehenden Designs und schlägt Verbesserungen vor, um die Leistung der R C-Magnetron-Kathoden zu optimieren. Darüber hinaus werden die Anwendungen von Tantal- und Tantal-basierten Nitride-Beschichtungen in verschiedenen Bereichen wie Biologie, Elektronik und Oberflächentechnik behandelt, wobei die besten Depositionseinstellungen für harte Beschichtungen präsentiert werden.