Sputtering by Particle Bombardment, Fachbücher von Rainer Behrisch, Wolfgang Eckstein
320,99 €
Das Buch "Sputtering by Particle Bombardment" bietet eine umfassende Übersicht über die neuesten Entwicklungen und Erkenntnisse im Bereich des Sputterns durch Teilchenbombardierung. Es stellt eine wertvolle Ressource für Fachleute dar, die sich mit den physikalischen und angewandten Aspekten von Sputtering beschäftigen. Im Vergleich zu früheren Ausgaben, die vor fast zwei Jahrzehnten veröffentlicht wurden, enthält dieses Werk aktualisierte Informationen und neue Ergebnisse, die in internationalen Fachzeitschriften veröffentlicht wurden. Besonders hervorzuheben sind die neuen algebraischen Näherungsformeln zur Berechnung der Sputterausbeuten in Abhängigkeit von Energie und Winkel. Darüber hinaus werden die kritischen Überprüfungen der Berechnungsmethoden sowie die Auswirkungen chemischer Effekte auf das Sputtern behandelt. Das Buch ist eine unverzichtbare Referenz für alle, die sich mit den Mechanismen und den neuesten Modellen im Bereich des Sputterns auseinandersetzen möchten.
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