Fluorine enriched silicon: properties and advantages, Fachbücher von Giuliana Impellizzeri

Das Buch "Fluorine enriched silicon: properties and advantages" von Giuliana Impellizzeri bietet eine umfassende Untersuchung der Rolle von Fluor in der Siliziumtechnologie, insbesondere im Kontext der Mikroelektronik. In einer Zeit, in der die Anforderungen an die Miniaturisierung und Leistungsfähigkeit von Halbleitern stetig steigen, beleuchtet die Autorin die Mechanismen, durch die Fluor die Eigenschaften von Silizium beeinflusst. Die Arbeit geht auf die Herausforderungen ein, die mit der Herstellung flacher p-Typ-Junktionen und hohen aktiven Dotierstoffkonzentrationen verbunden sind. Durch die Analyse von Fluorverhalten in voramorphisiertem Silizium wird ein neuer Ansatz zur Steuerung von Dotierstoffprofilen und Punktdefekten aufgezeigt. Die Ergebnisse der Untersuchung tragen dazu bei, das Verständnis der Wechselwirkungen zwischen Fluor und Silizium zu vertiefen und eröffnen neue Perspektiven für die Entwicklung fortschrittlicher Halbleitertechnologien.