Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology, Fachbücher von Gerhard Franz

Das Buch "Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology" von Gerhard Franz bietet eine umfassende Analyse der Entwicklungen und Anwendungen von Plasmatechnologien in der Halbleiterindustrie und darüber hinaus. In den letzten vier Jahrzehnten hat das Interesse an plasmaunterstützten Prozessen zugenommen, da moderne Halbleitergeräte mindestens einen Verarbeitungsschritt mit Plasma durchlaufen. Diese Technologien sind entscheidend für die Herstellung von Geräten mit immer kleineren Strukturen, die die Grenzen von 100 nm überschreiten. Das Buch beleuchtet nicht nur die Fortschritte in der Halbleitertechnologie, sondern auch die Anwendung von Plasmabehandlungen zur Verbesserung der Materialeigenschaften, wie z.B. die Erhöhung der Knitterbeständigkeit von Baumwolle oder die Haltbarkeit von Leder. Die rasante Entwicklung in diesem Bereich zeigt, dass Plasma-basierte Prozesse in neue Forschungs- und Anwendungsfelder vordringen, was die Relevanz dieses Fachbuchs unterstreicht.