Design and Development of Tunable Comb Line MEMS Filter, Fachbücher von Buddhadev Pradhan

Das Buch "Design and Development of Tunable Comb Line MEMS Filter" behandelt ein relativ neues Gebiet der Hochfrequenztechnologie, das auf Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) basiert. RF MEMS bieten eine Klasse neuer Geräte und Komponenten, die im Vergleich zu herkömmlichen Halbleitergeräten eine überlegene Hochfrequenzleistung aufweisen und neue Systemfähigkeiten ermöglichen. Die Herstellung von MEMS-Geräten erfolgt durch Techniken, die denen der sehr grossen integrierten Schaltungen ähneln, und kann durch traditionelle Batch-Verfahren realisiert werden. Mikrowellenfilter sind entscheidende Komponenten in den Bereichen elektronische Kriegsführung, Radar und Kommunikationssysteme. Typische einstellbare Filter sind jedoch oft sperrig, teuer und verbrauchen viel Energie. Die RF MEMS-Technologie ermöglicht eine verlustarme, hochlineare Filterung in Volumina, die mit denen integrierter Schaltungen vergleichbar sind. Dieses Buch erweitert das Konzept auf die Entwicklung von RF MEMS einstellbaren Filtern, die eine wichtige Rolle in softwaredefinierten Funkarchitekturen spielen können, indem sie die Gesamtgrösse des Systems reduzieren und eine On-Chip-Integration ermöglichen.