Modeling And Feedback Control Of Mems Devices, Fachbücher von Frank L. Lewis, Bruno Borovic

Das Buch "Modeling And Feedback Control Of Mems Devices" bietet eine umfassende Einführung in die Welt der Mikroelektromechanischen Systeme (MEMS). Diese innovativen Mikromaschinen ermöglichen eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Berechnung, Sensorik, Mobilität und Manipulation auf mikroskopischer Ebene. In den letzten Jahren hat die MEMS-Technologie bedeutende Fortschritte gemacht, die zur Entwicklung fortschrittlicher Geräte geführt haben, die in verschiedenen Märkten, wie Mobiltelefonen, Gaming und militärischen Anwendungen, eingesetzt werden. Angesichts der steigenden Anforderungen an Qualität und Preis müssen neue MEMS-Geräte strengen Spezifikationen genügen. Das Buch behandelt verschiedene Feedback-Kontrolltechniken, die dazu beitragen, diese Anforderungen zuverlässig zu erfüllen. Es bietet dem Leser eine Sammlung praktischer Beispiele, die sich mit der dynamischen Modellierung von MEMS-Geräten, der dynamischen Steuerung zur Leistungsverbesserung und der Optimierung des MEMS-Designs durch Systemanalyse befassen.