Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques, Fachbücher von S.J. Pearton, R.J. Shul
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Produktdetails
Das "Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques" bietet eine umfassende Analyse und detaillierte Informationen zu fortgeschrittenen Plasmaverarbeitungstechniken, die für die moderne Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung sind. Es behandelt zentrale Methoden wie das Trockenätzen und die plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung, die nicht nur für die Herstellung integrierter Schaltungen, sondern auch für innovative Anwendungen in Bereichen wie Oberflächenmikromaschinen, Datenspeicher und magnetischem RAM von Bedeutung sind. Das Buch beleuchtet die komplexen chemischen und physikalischen Prozesse, die bei der Plasmainteraktion mit Halbleitermaterialien auftreten, und betont die Notwendigkeit eines fundierten Verständnisses dieser Techniken, um die Prozessausbeute in der Mikroelektronikindustrie zu maximieren. Die Autoren, R.J. Shul und S.J. Pearton, kombinieren theoretische Grundlagen mit praktischen Ansätzen, um die Herausforderungen und Lösungen in der Plasmaverarbeitung zu erläutern.
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Marke:Springer