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Ion Sources, Fachbücher von Huashun Zhang

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Das Buch "Ion Sources" bietet eine umfassende Analyse der Ioneneinschlagtechnologie, die in der Geräteherstellung von grundlegender Bedeutung ist. Es behandelt die Auswahl und den Betrieb von Ionensourcen, die für die effiziente Nutzung dieser beschleunigerbasierten Technik entscheidend sind. Die Autoren, Huashun Zhang und Jianrong Zhang, erläutern die Physik der Ionenerzeugung für verschiedene Elemente mit unterschiedlichen Ladungszuständen sowie die Ladungsneutralisation. Darüber hinaus werden die Auswahl von Ionen und die Diagnostik von Strahlen behandelt. Die Präsentation der erforderlichen Gleichungen und Diagramme zu den verschiedenen Parametern macht dieses Buch zu einem wertvollen Nachschlagewerk für Fachleute und Studierende im Bereich der Ionentechnologie.

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