Predictive Simulation of Semiconductor Processing, Fachbücher von Eicke R. Weber, Jarek Dabrowski

Das Buch "Predictive Simulation of Semiconductor Processing" bietet eine umfassende Analyse der Prozesse, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen eine Rolle spielen. Es richtet sich an Forscher und Entwickler, die die Grenzen der Skalierung von Halbleitergeräten über die Parameter empirischer Forschung hinaus erweitern möchten. Die Autoren diskutieren grundlegende Mechanismen wie Diffusion, Ionenimplantation, Epitaxie, Defektbildung und Anlassen sowie Kontamination. Durch die detaillierte Betrachtung dieser Prozesse wird ein tieferes Verständnis für die Herausforderungen und Möglichkeiten in der Halbleiterverarbeitung geschaffen. Das Buch identifiziert zudem Bereiche, die weiterer Forschung bedürfen, um ein umfassendes, prädiktives Simulationswerkzeug zu entwickeln, das die Effizienz und Genauigkeit in der Halbleiterfertigung steigern kann.